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臭氧水代替化学药剂的优点
发布时间:2022-07-09
访问量:1045
来源:本站
使用臭氧水清洗的优点
使用臭氧水去除颗粒金属有机物质的原理
臭氧水处理时间与氧化膜厚度的关系
【结果】
通过臭氧水清洗从而在硅基板表面上形成最大厚度0.8nm的氧化膜。
臭氧水处理方式与颗粒去除率的关系
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